Rotomat en version salle blanche pour la production de wafers

Sur le site de Lenzbourg, en Suisse, le groupe ABB optimise les lingots servant à fabriquer des composants électroniques à semi-conducteurs. Pour cela, il utilise un rayonnage rotatif automatisé même dans la salle blanche.

Les systèmes de préparation de commandes automatisées sont plus que jamais indispensables. À Lenzbourg, un stockeur Hänel Rotomat® développé spécialement pour la salle blanche augmente la compacité du stockage.
ABB dispose d’une gamme de produits immense dans les domaines de l’énergie et de l’automatisation. Entre autres, le groupe développe et fabrique des produits allant des appareillages de connexion à haute tension aux semi-conducteurs de puissance microscopiques. À Lenzbourg, ABB développe, fabrique et commercialise des systèmes de réseau électrique, des semi-conducteurs et des semi-conducteurs de puissance.

Pas d’arêtes ou de fentes.

Dans une salle blanche, il importe avant tout d’empêcher l’adhésion de particules à chaque étape des différentes opérations L’ingénieur de procédés Eustachio Faggiano d’ABB affirme : « Le magasin rotatif que Hänel a développé spécialement pour la salle blanche ne présente ni arêtes ni fentes. Les surfaces sont lisses et faciles à nettoyer avec des solutions d’isopropanol. » 

M. Faggiano est le responsable du stockeur Hänel Rotomat® CleanStore installé dans la salle blanche qui répond aux exigences de la classe de propreté 5 selon EN ISO 14644-1 avec la classe de filtration HEPA H14.

Il est même possible de journaliser les valeurs de mesure au moyen d’enregistreurs de données. Hänel a conçu ce magasin high-tech pour qu’il constitue un système fermé. L’appareil étant doté d’une double cloison, l’air est épuré dans un filtre disposé directement à l’intérieur du magasin rotatif. Ainsi, il n’est pas possible que des particules pénètrent dans la salle blanche. M. Faggiano : « Une fois que les wafers ont été chargés sur les porte-calottes, ils sont conservés dans le Hänel Rotomat® CleanStore jusqu’à leur utilisation dans le système de métallisation. Pendant ce temps, les wafers ne doivent pas entrer en contact avec des particules. »

Les calottes vides, elles non plus, ne doivent pas être souillées par des particules de poussière. Elles sont donc conservées dans le magasin rotatif. Le Hänel Rotomat® CleanStore est utilisé dans les secteurs de l’électronique et des semi-conducteurs et dans la technique médicale. Chez ABB, les calottes de wafers sont stockées auparavant dans un rayonnage à tablettes classique.